类金刚石(Diamond Like Carbon, DLC)膜是一类含有金刚石结构和石墨结构的非晶/纳米晶碳膜的总称。DLC膜由于具有特殊的摩擦磨损性能，发达国家已将其广泛应用于机械制造、汽车工业、航空航天和国防工业等领域。本项目针对不同应用对象，采用多种技术制备多种高性能DLC膜。重点解决DLC膜内应力大而引起的结合不良和膜层脆性大的技术难题。在精密部件表面硬度达≥20GPa，摩擦系数小于0.20。用于精密部件的表面处理，可起到有效地耐磨减摩作用，大幅度地提高部件使用寿命。